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半導體電子設備

LCS系列立式旋轉沖洗甩干機

發(fā)布時(shí)間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:111次

LCS系列立式旋轉沖洗甩干機(圖1)

 

 

概述:

本機是主要應用于太陽(yáng)能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節,具有容量大、效率高的特點(diǎn)。

主要特點(diǎn):

彩色液晶觸摸屏實(shí)時(shí)監控,可存儲多種工藝菜單。

腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學(xué)拋光處理。

去離子水電阻率監控功能。

無(wú)刷電機驅動(dòng)

氮氣溫度控制

轉軸氮氣密封

具有鎖蓋防護功能

故障診斷、顯示、報警功能

可提用戶(hù)特殊要求配置

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